光刻工艺

EVG 40NT检测系统
EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有级高的精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具
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EVG 610（NIL）纳米压印系统
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换
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EVG 610光刻机
单面/双面光刻系统
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EVG 101涂胶/喷胶/匀胶系统
测试与辅助工艺设备
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