成膜工艺
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Picosun R-200系列原子层沉积体统是一款多种能的原子层沉积平台，是用于研发的理想选择，适用于IC器件、MEMS器件、显示器、led、激光、3D物体如镜片、光学、珠宝、硬币、医疗植入物等数十种应用的研发
ULVAC ei-5z系列高真空蒸发镀膜设备是一款可同时安装电子束蒸发和热蒸发源的多功能蒸发台，可用于各种金属、合金、非金属蒸发镀膜，可做垂直入射蒸发工艺，可做穿墙式设计，采用全自动控制，稳定，高效
Centrotherm HORICOO 200 是大量现场验证及具有超多功能的卧式炉系统，基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。为AP、LP和PECVD等多种工艺应用提供了可靠的工艺能力和很高的工艺性能。此外，同一系统不同工艺炉管可以匹配相关设施(大气、真空或混合)配置不同的工艺
