CVD

【产品简介】

Centrotherm HORICOO 200 是大量现场验证及具有超多功能的卧式炉系统，基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。为AP、LP和PECVD等多种工艺应用提供了可靠的工艺能力和很高的工艺性能。此外，同一系统不同工艺炉管可以匹配相关设施(大气、真空或混合)配置不同的工艺。

所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统，其可以存放多达8个工艺晶舟，同时也集成有一个晶圆传输系统。水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能最大限度排除外部环境影响。且易于维护，能确保低维护成本及高的正常运行时间。

【适用工艺】

·退火

·扩散

·氧化

·低压化学气相沉积

·等离子增强化学气相沉积

【产品优点】

·大气压加工、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工

·能提供任选加工腔方案

·先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰

·模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产