掺杂工艺

CentroTherm VERTICOO200立式炉
Centrotherm VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺
更多详情
CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统
Centrotherm HORICOO 300卧式批处理系统是世界上首先用于先进的高产能的 300 mm晶圆加工平台。
更多详情