退火炉

CentroTherm VERTICOO200立式炉
  • 产品品牌: 德国 Centrotherm
  • 产品产地: 德国
  • 应用领域: 半导体IC、MEMS微机电系统、3D封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等
  • 产品简介: Centrotherm VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺

【产品简介】

Centrotherm VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。优化的单管双舟传送系统，使搬运时间缩至最短，同时降低拥有成本与维修成本。

【适用工艺】

·退火

·氧化

·扩散

·LPCVD