探针式轮廓仪

Dektak Pro探针式轮廓仪
一款高精度表面形貌测量仪器，通过接触式探针技术实现纳米级垂直分辨率的台阶高度、粗糙度和三维形貌分析，广泛应用于半导体、光学镀膜及材料科学研究领域。
  • 产品品牌: Bruker公司
  • 产品产地: 马来西亚
  • 应用领域: 半导体与微电子、光学与显示技术、材料科学、MEMS/NEMS（微/纳机电系统）、生物医学与仿生材料、质量控制与失效分析
  • 产品简介: Dektak Pro采用接触式探针测量技术，通过金刚石或蓝宝石探针在样品表面扫描，记录探针的垂直位移变化，从而生成高分辨率的表面轮廓数据（分辨率可达亚纳米级）。




最大限度地提高可重复性和准确性

Dektak Pro 提供准确、精确的数据，具有最高的分辨率、最低的本底噪声和任何市售测针轮廓仪中最容易的尖端更换。最先进的测量和分析技术最大限度地提高了可重复性和准确性，使单纳米台阶高度测量和优于 4 Å 的可重复性成为可能。

提高吞吐量

Dektak Pro 加速了测量和分析过程的每一步。直接驱动扫描台技术缩短了扫描之间的时间，Vision64 软件中的 64 位并行处理实现了快速数据处理。®

Dektak Pro 中额外的速度和易用性技术进步：

  • 一种新算法使光学实时图像中几乎整个视场都聚焦在一起，从而更容易定位感兴趣的特征。
  • 新的台阶高度算法可自动执行分析程序，提高一致性，并最大限度地减少台阶高度计算中的潜在用户错误。



提供终极多功能性和易用性

适用于各种应用



Dektak Pro 解决了许多工业和研究应用中的研发、工艺开发和 QA/QC 当前和未来的需求，例如：

  • 微电子学
  • 厚膜涂层
  • 生物材料


在动态测量场景中准确且响应迅速

使用 Dektak Pro，一个测量头可覆盖 5 nm–1 mm 的步高和 0.03–15 mg 的负载（使用 N-Lite+ 选项），无需重新校准。低惯量传感器 （LIS 3） 可快速适应表面地形的突然变化，并在动态测量场景中保持准确性和响应能力



快速简便的触控笔更换

Dektak Pro 独特的自对准测针组件有助于快速轻松地更换测针，同时消除过程中的任何潜在事故。布鲁克提供最广泛的测针尺寸，几乎可以满足任何应用要求。


Dektak Pro 具有最快、最简单的吸头更换功能，使吸头切换变得简单，以满足最广泛的应用需求。




选择最适合您的应用程序和预算的配置

Dektak Pro 有几种标准配置，具有不同的载物台尺寸 — 高达 200 mm 的晶圆全样品通道 — 以及自动化载物台选项，以满足您的独特需求和预算。


  • Dektak Pro E 或 -S： 手动 100 mm XY 载物台，带或不带手动 θ 旋转
  • Dektak Pro A： 自动 150 mm XY 载物台，带自动 360° θ
  • Dektak Pro A200 （德克特 Pro A200）： 自动编码的 200 mm XY 载物台，带有精细编码的自动 360° θ