产品中心
Centrotherm HORICOO 200 是大量现场验证及具有超多功能的卧式炉系统，基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。为AP、LP和PECVD等多种工艺应用提供了可靠的工艺能力和很高的工艺性能。此外，同一系统不同工艺炉管可以匹配相关设施(大气、真空或混合)配置不同的工艺
前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；离子注入后，光刻后，镀膜前等工艺过程；
后道/先进封装/3D IC：Descum Bumping；Plasma Treatment；Wafer Cleaning等
-65f5c662707632b4270e668ac3708e26.png)
EVG GEMINI FB是一款全自动具备高精度对准和熔融键合的工艺平台，实现了高程度的集成度和自动化，主要应用于存储器堆叠、BSI图像传感器、SoC等领域的大型量产
