电子显微镜分析仪

一、亮点

1）1nm------空间分辨率

SEM 中的纳米级分辨率

2）>1.1sr------最高固体角

固体角代表探测器采集样品产生的 X 射线的几何收集效率

3）2,400kcps------高通量

比传统的 EDS 探测器快 4 倍

4）QUANTAX FlatQUAD - 突破传统 SDD 的极限

QUANTAX FlatQUAD 是基于革命性 XFlash® FlatQUAD 的 EDS 分析系统。这种环形四通道硅漂移探测器实验时位于SEM极靴和样品之间，在EDS测试中实现最大固体角。QUANTAX FlatQUAD 与 ESPRIT 分析软件套件相结合，即使是对于最困难的EDS样品，可以提供无与伦比的面分析性能。

a）仅使用中等电流就可以进行极快的面分析表征

b）可以在极低电流(<10pA)下对束流敏感材料进行分析，例如生物或半导体样品

c）对具有粗糙表面的样品进行表征，有效避免阴影效应

d）低kV 和高放大倍率下的纳米颗粒和纳米结构分析

e）SEM 中测量薄样品（如 TEM 薄片）和其他 X 射线产量低的样品的最佳选择

二、优势

最大限度地提高您的效率

a） Bruker XFlash® FlatQUAD 探测器独特的环形设计以及它在 SEM 极片和样品之间的位置，可带来无与伦比的固体角，直接对应为更快的测量速度。QUANTAX FlatQUAD 与 ESPRIT 软件套件一起，提供理想的仪器软硬件，用于分析最低电流才稳定的敏感样品或极为粗糙的样品。

b） XFlash® FlatQUAD还可以将您的 SEM 或 FIB 转换为低电压的 STEM，以更及时、更经济高效的方式实现最高的空间和光谱分辨率。

c） 如果要从电子透明样品中获得更多信息，比如晶体学信息，可以请将 XFlash® FlatQUAD与布鲁克 EBSD 改装的 TKD 探测器结合使用。

三、相关应用图片