电子显微镜分析仪

一、亮点

高分辨率、高灵敏度和低检测限制

1）~ 4eV------Si-Kα 的 FWHM

超过 EDS 能量分辨率一个数量级的卓越能量分辨率

2）< 100ppm------许多元素的检测限

痕量元素分析的高精度和高准确性

3）> 900cps/nA------80 Å 厚多层结构中 C-Kα 的计数率

低能量 X 射线的高灵敏度

4）补充您的 SEM：使用电子探头微分析仪的好处

a）用于 SEM 的 QUANTAX WDS由 XSense 波长分散光谱仪组成，在所有平行光束 WDS 系统中实现最佳分辨率。与基于罗兰圆的 WDS 光谱仪相比，QUANTAX WDS 由于平行光束设计，可以实现大固体角采集，为低能 X 射线提供更高的信号强度

b）WDS 通过抑制背底辐射的独特二次光学器件进一步增强信噪比

c）QUANTAX WDS 配备最好的掠入角光学元件和多达六个分析晶体，对 70 eV 以上的低能量 X 射线具有卓越的灵敏度

d）巧妙的自动光学对准系统和独特的压力控制比例计数器可确保准确且可重复的结果

e）灵活适应 WDS 或 EDS 端口

二、优势：

SEM 上的 WDS – 满足苛刻分析应用的完美解决方案

a）解决常见的 EDS 峰值重叠，如 Ta-W-Si、Pb-S 或 Mo-S

b）探索感兴趣的元素的低能 X 射线线系（L、M、N）

c）研究低加速电压的样品，确保电子束穿透深度最小

d）获得最高的cps/nA，因为高固体角使轻元素在整个浓度范围内从 Be 到 F 进行表征

e）得到远远低于 EDS 检测限值的痕量元素浓度

f）可以在低真空下测量，无需导电涂层

g）使用独特的压力控制比例计数器，节省分析测量时间

h）确保光谱数据的空间精度，进行精确定量

i）通过同时进行 WDS 和 EDS 分析，将每个探测器的优势整合到组合定量中，节省采集时间

三、相关应用图片