光学轮廓仪

ContourX-500 光学轮廓仪是全球功能最全面的自动化台式系统，可快速完成非接触式三维表面计量。ContourX-500 具有卓越的 Z 轴分辨率和准确度，并具备布鲁克落地式白光干涉（WLI）仪器广受业界认可的所有优势，而占地面积更小。该款轮廓仪可轻松自主配置，适用于从精密加工表面和半导体工艺的质量保证／质量控制（QA/QC）计量到眼科和微机电系统（MEMS）器件的研发表征等广泛的复杂应用。

1 ）最先进的台式三维形貌计量设备

* 与放大倍率无关的业界最好Z轴分辨率

*  高级自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整

*  更紧凑的气动减震台设计

2 ）卓越的测量与分析功能

*  易于使用的界面，可快速准确地获得结果

*  广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序

*  最广泛的滤镜和分析工具

*  满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告

3）高级自动化功能

布鲁克专有的自动倾斜测头为生产和监测提供了无与伦比的灵活性。通过将自动倾斜测头与光学装置耦合在显微镜上，布鲁克实现了测试位置不受倾斜角度影响的测量。这样可以减少操作员的干预，提供最大的可重复性。进一步结合自动样品台和物镜塔台，使得ContourX-500非常适合“按需测量”工业要求，且占用空间小。

4）无与伦比的分析与回报

通过上千项自定义分析功能和简洁而强大的VisionXpress™和Vision64®用户界面，ContourX-500为提高实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种独特的硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量的便捷访问，超过了同类计量设备的能力。传统的样品台倾斜方式需要通过使用者调整五个运动轴才能保证测试位置保持在入射光垂直测试位置。布鲁克独有的倾斜测头设计使其在移动时能一直保持测试位置准确聚焦成像，无需担心调整样品倾角时视场移动，从而更轻松、快速、自动测量。

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1）传统的俯仰滚动工作台设计需要操作人员调整五个旋转轴，以将检测点保持在视线上进行测量。布鲁克独特的光学头倾斜/俯仰设计，不受倾斜影响，都能将视线保持在检测点上，从而优化图像采集，并大幅缩短数据获取时间

2）分析微流体器件的底部通道，通过 Vision64 的多个区域直接提取