原子力显微镜

Dimension Edge™原子力显微镜采用布鲁克专利的PeakForce Tapping ® 技术，提供同类产品中，高水平的原子力显微镜 （AFM） 性能、功能和配件。基于 Dimension Icon 平台开发，Dimension Edge系统的设计具有低漂移、低噪音的特点，大大提高了数据获取速度和可靠性，使用这台全新的仪器，几分钟时间即可获得高质量、可发表的专业数据。另外，其集成的可视化反馈和预配置设置，使其如专家现场操作一样，简单方便，测量结果高度一致。Dimension Edge最先进的大样品 AFM 功能和技术可为每个用户的多种应用环境提供选择。

一、亮点

1) 模块化------显微镜和电子系统

以中等成本提供高图像保真度和研究灵活性。

2) 内置------访问信号通路

支持自定义测量和扩展功能。

3) 集成------大样品台控制系统

提供快速的样品测量定位导航和高效的多点位测量。

二、特点

1）特征------闭环精度

该系统的核心配件是布鲁克著名的闭环扫描器。该扫描器采用温度补偿位置传感器，由模块化设计的低噪声控制电子器件驱动，可将探针扫描的闭环噪声级别降低至单个化学键长度的量级。

2) 大样品平台

Dimension Edge 样品台不仅由马达控制，可进行编程实现高效多点测量，还允许您直接在 AFM 扫描器下同时放置更多类型的样品，减少样品放置时间。探针-样品交汇处的物理开放性，使您能够更直接地观察样品器件的几何结构，以及器件的电气连接或放置其他定制的实验附件。

3) 自动成像优化

Dimension Edge 采样阶段不仅可进行电动和可编程，可进行高效的多点测量，还允许您直接在 AFM 扫描仪下安装更多类型的样品，同时使用更少的制备时间。对探针-样品交汇点的物理开放访问能够更直接地调查具有几何挑战性的器件结构，以及电气连接或其他定制实验附件的附件的附件。

三、应用

AFM 模式------用AFM拓展您的应用

凭借一整套出色的AFM成像模式，布鲁克能为您每项研究提供适用的 AFM 技术。

基于核心成像模式（接触模式和轻敲模式），布鲁克提供的全套 AFM测试模式，允许用户探测样品的电学、磁性等丰富性能。布鲁克独创的全新的峰值力轻敲技术作为一种新的核心成像模式，已被应用到多种测量模式中，能同时提供形貌、电学和力学性能数据。

四、Dimension Edge数据示例

1）Kerf结构的闭环形貌图,显示双嵌入式结构中的内接触孔。Dimension扫描器和布鲁克FIB探针的配合使用,能对此具有挑战性的几何结构进行成像,且不会损坏探针。

2）使用Dark Lift SCM对SRAM样品进行精确的2D掺杂分析。图像大小15um.

3）Dimension Edge高性能AFM能够观察小麦谷物成分中生物聚合物的纳米级结构,从而更好地了解其结构与谷物产品宏观特性的关系。图像大小90 um.

4）聚合物刷的智能成像模式(ScanAsyst)扫描图像。图像大小200nm

5）HOPG上C36H74烷的闭环相位图像。清晰可见的片层结构间距,与C36H74链的长度间距(±4.5nm)一致。图像大小130nm

6）闭环相位图像。显示了聚(苯乙烯b-丁二烯b-苯乙烯)三聚体中的微相分离。图像大小为2um。

7）缓冲溶液中DNA的原位智能模式(ScanAsyst)扫描图像。图像大小500nm。

8）Dimension Edge提供一整套纳米机力学性能和电学模式:相位成像、力谱、压电响应力显微镜、导电AFM和开尔文探针力显微镜等。结合独特的设计以实现最高空间分辨率及原子分辨率成像。

9）Dimension Edge提供全套电学模式:利用布鲁克的专利Lift Mode,实现电场梯度成像的EFM,灵敏的功函数测量的KPFM,无假象导电图测量的Dark lift CAFM模式等。

10）接触模式云母晶格原子像。图像大小1.5nm。

11）图案蓝宝石底板 (PSS)是LED制造商用于提高光输出和整体设备效率的一种技术。PSS是一种蓝宝石晶圆，其周期图案已刻在其中。图案的形状各不相同,但以圆锥形、半球形、金字塔形或其他类似结构为主。这些结构可用于改变发射光子的角度,减少总内部反射，从而提高效率。Edge-PSS AFM可提供控制PSS制程计量,包括特征高度、宽度和角度测量,同时提供完整的3D轮廓。Edge-PSS能满足PSS供应商和LED制造商缩小结构尺寸、提高产品效率的需求。