半导体解决方案
Dektak XTL™ 探针式轮廓仪
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 美国
- 应用领域: 半导体制造中薄膜厚度、刻蚀形貌测量；材料研究里分析材料表面粗糙度与微观结构；在微纳加工领域，对微纳结构尺寸、台阶高度等参数开展精确测定
- 产品简介: Dektak XTL 是一款探针式轮廓仪，可容纳达 350mm×350mm 的样品，将传奇的 Dektak 重复性与再现性带入大幅面晶圆及面板制造。其具备气动隔振功能与全封闭工作站，搭配易操作的联锁门，适合严苛生产环境。双摄像头架构提升空间感知，高度自动化极大提高制造产量，能精准探测样品表面轮廓 。
Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可更大限度地提高测试通量。
- 适用范围广：可容纳高达 350mm×350mm 的样品
- 环境适应性强：具备空气振动隔离设计和全封闭工作站设计
- 自动化程度高：能基于参考位置和众多测量位置编程，可最大限度提高测试通量并减少出错
- 空间感知能力优：采用双摄像头架构，双视场相机提供高清放大，增强空间感知
- 软件功能强大：搭载 Vision64 软件，拥有数百种内置分析工具
- 硬件配置出色：包括单拱形架构和集成振动隔离系统，确保行业领先性能