半导体解决方案

QC3化合物半导体的X射线计量学
  • 产品品牌: 布鲁克 Bruker
  • 产品产地: 德国
  • 应用领域: 在化合物半导体产业，用于外延层成分与厚度测量，监测生产质量；对 Si、GaAs、InP、GaN 等半导体材料的衬底或外延层进行测试分析；还可助力化合物半导体相关的材料研究与工艺优化 。
  • 产品简介: 布鲁克 QC3 是专注于化合物半导体的 X 射线计量设备。它采用标准密封管光学元件，搭配多种光束调节晶体，可针对不同应用优化分辨率与强度。能实现 300mm 行程，支持大尺寸晶圆或多个小晶圆同时测量。具备全自动化操作流程，从样品水平安装、校准，到测量与数据分析均可自动完成，也能借助专业软件离线分析 。

QC3 是历史悠久且久经考验的外延层 QC 系统。它是一种高分辨率的X射线衍射工具，非常适合质量控制。它用于测量几乎任何材料的外延层的成分和厚度。该系统使用标准的密封管光学器件，结合各种光束调节晶体，可以对其进行优化，为每种应用提供最高的分辨率和强度组合。

  • 自动化程度高：操作完全自动化，样品水平安装便捷，晶片准直、数据采集与分析一气呵成
  • 性能出色：专注半导体材料高分辨率 X 射线衍射，X 射线强度较上一代设备提升，测试精度与速度得以优化。
  • 功能多样：能实现化合物半导体材料对称、非对称及倾斜对称几何的 X 射线衍射，可直接测量确定多层外延膜结构的外延层组分、弛豫度和应变，广泛适用于多种外延层材料的成分和厚度测量 。