Nature Communications: 硅纳米器件中热电子增强热电效应的直接观测
发布日期:2025-08-05 11:05:13
布鲁克纳米表面与量测部 殷豪博士

内容简介


随着半导体技术的不断进步,晶体管尺寸持续缩小。在此趋势下,电子在纳米晶体管中的行为发生显著变化,其热平衡状态遭到严重破坏,电子温度(Te)远高于晶格温度(TL),形成所谓的“电子热点”。这些电子热点对芯片的散热管理带来巨大挑战,成为制约芯片性能提升的关键瓶颈。目前,传统的被动冷却技术主要依赖材料的热传导性能,但由于材料热导率存在上限,且界面热阻在模块总热阻中占比逐渐增大,导致外部冷却手段效果十分有限,难以满足后摩尔时代纳米电子学日益增长的散热需求。


半导体热电制冷作为一种主动冷却技术,近年来受到广泛关注。该技术利用热电效应,通过电流驱动实现热量的定向传输,其制冷性能不受材料热导率的限制。在宏观尺度上,热电制冷技术已取得显著进展,并在无机械运动制冷领域得到广泛应用。然而,当尺寸缩小到纳米尺度时,传统的基于局部热平衡(LTE)假设的热电理论不再适用。纳米尺度下,电子温度可能显著高于晶格温度,且热点区域的温度梯度和电流密度极高,远超宏观尺度下可能达到的值。


针对纳米尺度下半导体器件的热电特性,复旦大学Huanyi Xue等研究人员,采用Bruker Dimension Icon原子力显微镜的扫描热显微模式(SThM), 研究了硅纳米器件中的热电效应。研究通过实验和数值模拟相结合的方法,探索硅在非平衡态下的热电性能,并验证非平衡态下基于电子温度的热电效应增强机制,为未来纳米电子学的热管理提供新的理论依据和实验指导。


相关成果Direct observation of hot-electron-enhanced thermoelectric effects in silicon nanodevices于2023年6月发表于Nature Communications上。




研究结果和讨论

研究中采用磷掺杂(浓度约为1×1019cm-3)的硅薄膜(厚度约90nm),通过外延生长法沉积在高电阻率Si衬底上。利用纳米限制结构设计,将电流集中在宽度约400nm的狭窄区域,从而实现高度局域化的电子热点。这种结构设计使得在外部偏压作用下,电场主要集中在纳米限制区域,为研究纳米尺度下的热电效应提供了理想平台。


扫描热显微镜(SThM)是一种接触式纳米温度测量技术,通过探针检测样品表面的局部晶格温度分布。在此实验过程中,样品置于常温常压环境下,施加交流或脉冲电压,激发样品产生热信号。SThM 探针扫描样品,收集的热电压信号经处理生成温度分布图像。

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图1. a 原子力显微镜图像显示了约400nm宽的限制区域和约120纳米的高度变化(ΔH),展示了通道的平滑表面和尖锐的蚀刻边界。b 利用SNoiM技术在对狭窄导电通道施加10V偏压时测得的二维Te图像。c 利用SThM技术在同一设备上测得的二维TL图像,与SNoiM测量的偏压相同,均为10V。d 在与b和c图相同的偏压条件下,沿通道获取的Te(红点)和TL(蓝点)的一维曲线。箭头指示了Te和TL曲线的宽度。虚线垂直蓝线标记了限制区域的中心,以引导TL的偏差。图中标示了所施加电压的极性。



图1a显示了限制区域周围的原子力显微镜(AFM)高度信号图像,展示了通道的平滑表面和尖锐的蚀刻边界。通过AFM确认的约120nm的蚀刻深度大于掺杂层的厚度,确保了所有电流都限制在限制区域的外延层内。通过欧姆接触电极在源极和漏极之间施加偏压(正弦波或方波)。线性电流-电压(I-V)特性证实了良好的欧姆接触,排除了接触电极的整流行为对本研究结果的可能影响。


为直接探索器件的非平衡特性,该研究采用结合扫描噪声显微镜(SNoiM)与扫描热显微镜(SThM)的方法,分别探测电子与晶格子系统的Te和TL。SNoiM 是一种新开发的非接触式辐射电子纳米温度测量技术,通过检测源于热电子随机热运动的约20.7±1.2THz的近场fluctuating电磁场,提供Te分布信息。相比之下,SThM是一种接触式纳米温度测量技术,利用探针检测局部TL分布。图1b、c显示了在10V交流方波偏压下纳米结构周围Te和TL的二维空间分布,与图1a的扫描区域相同。Te和TL的热点均可见且集中在导电通道的瓶颈处。Te的峰值超过1500K(ΔTe~1200K),而在相同偏压下晶格子系统TL最大值仅约为320K(ΔTL~20K)。这一显著的温差证明了传导电子与晶格子系统之间存在非平衡现象。为了详细比较Te和TL,图1d描述了在与图1b、c相同偏压条件下沿通道获取的Te(红点)和TL(蓝点)的一维曲线,其中Te和TL的垂直坐标比例尺已调整使峰值高度对齐。显然,TL的线形略宽于Te(见箭头指示)。Te的尖锐窄峰展示了由电子子系统相对较小的比热和低热导率引起的典型非平衡特征。

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图2.通过SThM解耦检测来自TL的焦耳热和热电信号。a–c在施加正弦波交流电压(6–10V)时,解调于二阶谐波的焦耳热二维图像。d–f在施加方波交流电压(6–10V)且极性相同时,解调于一阶谐波的热电(TE)制冷/加热二维图像。g在与f图相同偏压条件下,TE信号的相位(Φ)图像,直接显示在限制区域中间Φ发生约180°的突变。h在与f图相反偏压极性下的TE制冷/加热二维图像。为了展示信号随电压的演变,焦耳和TE图的颜色比例尺被刻意调整。所有比例尺均为400nm。



为了从检测到的总热信号中提取纯热电制冷/加热信号和焦耳热信号,对器件施加两种波形调制的交流电压(正弦波和方波)。通过提取方波/正弦波调制下的第一/第二谐波响应,热电和焦耳信号得以解耦并直接观测。图2a–f展示了在不同偏压下限制区域周围的焦耳热(图2a–c)和热电效应(图2d–f)的空间分布。随着电压升高,焦耳热和热电信号的强度均单调增加。焦耳热的热点由于缩小结构的高电流密度而被限制在限制区域内。相比之下,热电制冷/加热的空间分布在限制区域的两侧,中间有尖锐的节点(ΔTTE=0),当电流沿+x方向流动时,左侧显示加热效应,右侧显示制冷效应。原则上,热电信号由锁相幅值R和相位Φ的余弦值相乘得到,因此热电制冷(负号)/加热(正号)的符号由Φ决定。图2g展示了与图2f相同偏压条件下的Φ空间分布图,Φ在限制区域中间位置发生约180°的突变,从而直接证明了热电制冷/加热符号的变化。当电流方向反转时,热电制冷/加热信号相应交换,表明热电制冷/加热效应依赖于电流方向,如图2h所示。

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图3. 实验数据与模拟结果比较。a、b在偏压为3–10V时,焦耳热和热电信号的实验一维分布。图2f中的二维热电图作为插图展示,以便与模拟结果进行比较。c焦耳(红点)和热电(蓝点)信号与电压(电流)的关系,采用平方(浅红线)和立方(浅蓝线)拟合。误差条表示从多次SThM测量的标准偏差中提取的ΔTTE的20 mK不确定性。图中插图显示了TE与焦耳比值随电压的变化(紫点)。d、e在偏压为3–10V时,模拟得到的焦耳热和热电信号的一维分布。图e的插图显示了模拟得到的10V偏压下的热电图。f模拟的焦耳(红点)和热电信号(蓝点)与电压(电流)的关系,采用平方(浅红线)和立方(浅蓝线)拟合。图中插图显示了TE与焦耳比值随电压的变化(紫点)。



为了深入理解器件中的热电传输机制,作者从涉及热电效应的载流结构中通用的热传输公式出发,利用有限元方法进行了三维建模。在10V直流偏压下模拟得到的Te和TL分布与实验结果具有相似的非平衡特性,峰值(Te~1596K和 TL~325K)和线形特征与实验结果吻合。为进一步比较模拟结果与实验数据,图4b绘制了从4V到10V的偏压增加时的模拟Te分布(彩色曲线)以及实验结果(彩色点)。模拟的峰值和线形均与实验数据高度一致,从而确保了数值方法的可靠性。


模拟得到的焦耳热和热电制冷/加热效应结果如图3d–f所示,可直接与实验数据进行比较。模拟的焦耳热(图3d)和热电信号(图3e)的热分布与实验中的特征一致,包括线形、峰值、制冷与加热峰之间的距离以及随偏压增加的演变。此外,模拟得到的10V偏压下的二维热电分布(图3e的插图)也显示出与实验(图3b的插图)类似的轮廓和热电特性。有趣的是,模拟的焦耳热和热电信号(图3f)清晰地显示出对偏压(电流)的平方和立方依赖关系,从而导致TE与焦耳信号的比值随偏压线性增加,与实验结果一致。

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图4. 非平衡态热电效应中Te调制的特征。a在电子(上方示意图)和晶格系统(下方示意图)内/之间的能量流示意图。b在偏压为4–10V时,沿通道获取的实验测量Te(点)和模拟(实线)Te的一维分布。插图显示了从实验(蓝点)和模拟(红点)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值随电压(电流)变化关系,并以二次拟合(浅红线)表示。c当以频率f的正弦波电流施加于器件时,ΔTe(ꚙ∇Π)以2f频率振荡。由于相关性:ΔTTE(ꚙ∇ΠJ)与I3成正比,总热电信号(ΔTTE)会受到基频(1f)和三阶(3f)谐波的调制,可通过傅里叶变换分离。d 在Vb=10 V时,通过锁相技术解调的一阶和三阶谐波的热信号沿通道的一维分布。



图4a展示了电子系统(上部示意图)和晶格系统(下部示意图)内的能量流动情况。在非平衡态下,电子温度显著高于晶格温度,电子在通过纳米限制区域时获得能量,形成高温的电子热点。这些热电子通过电子-声子散射将部分能量传递给晶格,导致晶格温度升高,但电子与晶格之间的能量交换不足以使两者温度迅速达到平衡。图4b显示了在4–10V偏压下沿通道获取的电子温度(Te)的一维分布。实验测量的Te值以点表示,模拟结果以实线表示。随着偏压的增加,Te的峰值显著升高,表明电子温度随偏压的增加而增加。插图展示了从实验(蓝点)和模拟(红点)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值随电压(电流)变化的关系,并以二次拟合(浅红线)表示。结果表明,电子温度的分布与偏压密切相关,且模拟结果与实验测量值高度吻合。图4c解释了当以频率f的正弦波电流施加于器件时,ΔTe(与电子温度梯度相关)以2f频率振荡。由于热电效应与电流的三次方成正比(ΔTTE∝I3),总热电信号(ΔTTE)会受到基频(1f)和三阶(3f)谐波的调制。通过傅里叶变换可以分离这些谐波分量。实验中,通过锁相技术解调的一阶和三阶谐波的热信号沿通道的一维分布如图4d所示。结果显示,三阶谐波分量的线形与一阶分量相反,且其幅度约为一阶分量的三分之一。这种谐波特性直接证明了非平衡态热电效应的非线性特征,表明热电效应的强度随电流的增加呈三次方增长。



总结

本研究采用Bruker Dimension Icon原子力显微镜的SThM模式,首次在硅纳米器件中直接观测到非平衡态热电效应,并通过数值模拟对其进行了深入分析。研究结果表明,在非平衡态下,基于电子温度的Peltier系数定义能够准确描述热电效应,且热电冷却/加热效应呈现出随电流增加的非线性增强特性。尽管热电效应的强度相对焦耳热较小,但其非线性特性为未来芯片冷却技术的发展提供了新的思路。这些研究成果不仅加深了对纳米尺度热电效应的理解,也为后摩尔时代纳米电子学的热管理技术发展奠定了重要的理论和实验基础,有望推动高性能、低功耗电子器件的进一步发展。



本文相关链接:


原文链接:


https://www.nature.com/articles/s41467-023-39489-z


Dimension Icon原子力显微镜简介:


https://www.bruker.com/zh/products-and-solutions/microscopes/materials-afm/dimension-icon-afm.html


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