半导体解决方案
InSight WLI白光干涉量测方案
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 美国
- 应用领域: 常用于半导体制造，监测晶圆表面形貌、测量光刻胶厚度；在光学元件制造中，检测表面粗糙度与面形偏差；助力材料科学研究，探究材料微观结构与性能关联；也适用于精密机械加工领域，把控零件表面形貌与尺寸精度 。
- 产品简介: 该方案集成布鲁克先进技术，通过白光干涉原理实现高精度测量。具备一键式高级寻找表面功能，搭配自动聚焦与自动照明，大幅提升测量效率。可对各类样品表面进行非接触式检测，获取精确的三维形貌数据，垂直分辨率达亚纳米级别，能兼顾微观表面粗糙度与宏观几何尺寸测量 。
全自动的 InSight WLI 系统结合了卓越的光学表面测量功能与先进的晶圆处理系统，为用户提供前所未有的测量体验。该系统专为满足最为严苛的研发（R&D）、质量保证及工艺质量控制的需求而设计，搭载了专利性的探头倾斜设计（tip/tilt head）、独特的自校准激光参考（ self-calibrating laser reference）、集成图案识别功能（pattern recognition）以及其他众多布鲁克独有的干涉测量技术。相比于其他量测系统， InSight WLI在非接触精度、高通量能力和操作便捷性方面遥遥领先，它能够广泛应用于各种在线生产量测和成像任务中。