半导体解决方案
InSight AFP全自动原子力量测方案
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 美国
- 应用领域: 半导体制造、 材料研究、 微纳加工
- 产品简介: 布鲁克 InSight AFP 是先进的全自动原子力量测方案。融合现代尖端扫描仪、稳定电容式压力计与精准空气轴承定位系统，能在晶圆活动区无损测量。具备高分辨率、快速成型及 3D 模具映射能力，提供 NIST 可追踪参考计量，年测量稳定性出色。拥有 TrueSense® 技术与专有 CDMode，实现蚀刻深度等自动化监控与侧壁特征表征 。
先进制程控制和开发所追求的长期稳定性和生产率，InSight AFP是行业领先的超高性能CMP分析和蚀刻深度量测系统，主要用于先进技术节点。InSight AFP配备了稳定的电容式扫描头和精确的空气轴承定位系统，使其可以在芯片的任意有效区域轻松进行非破坏性测量。
- 卓越的分辨率与成型速度：属于第五代AFP，具备业界顶尖的分辨率以及快速的成型速度
- 高度稳定性：拥有0.3纳米的长期稳定性，可提供NIST可溯源的参考计量
- 高效生产能力：在联应用程序方面具有极高的生产效率
- 快速仿形与高分辨率3D特征呈现：TrueSense®技术赋予其原子力分析器经实践验证的长扫描能力
- 独特的测量模式与成本优势：结合了原子力显微镜的创新成果，包含Bruker专有的CDMode