半导体解决方案
InSight 300全自动原子力量测方案
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 美国
- 应用领域: 化学、生物化学、材料科学、药物研发、食品检测、石油化工。
- 产品简介: 布鲁克 InSight 300 是一款专为半导体制造环境打造的自动化原子力显微镜。其扫描平整度＜±1nm，本底噪声＜35pm ，满足先进化学机械抛光与蚀刻应用的严苛要求。该设备具备出色的轮廓测量能力，在混合键合等前沿应用中表现卓越。它还设有专利操作模式，可优化侧壁粗糙度测量等工作，以高精度、高稳定性及易用性，保障半导体量产中的可靠在线计量 。
InSight 300 是专为晶圆厂设计的自动化原子力显微镜（AAFM），以其卓越的精确度、高效处理能力和可靠性，成为大规模半导体生产的理想选择。凭借<±1 nm 的扫描平整度（Scanner flatness）及行业领先的<35 pm底噪声，此系统能够完美应对先进制程中化学机械抛光（CMP）和蚀刻工艺的需求，涵盖从粗糙度分析到裸片全自动缺陷复检（Automated defect review）的全过程。此外，其强大的轮廓剖析能力（Profiling）不仅超越了毫米级测量范围，还能实现边缘倒角（Bevel-edge）的量测，为前沿的混合键合技术做铺垫。InSight 300还配备了侧壁粗糙度测量（Sidewall Roughness），和侧壁形貌分析等布鲁克专有模式。
- 高精度测量：能满足先进化学机械抛光（CMP）和蚀刻应用的严格要求，可实现纳米级精度测量。
- 多种专有测量模式：具备布鲁克专有的操作模式，确保测量结果的可靠性和一致性。
- 高效自动化：拥有自动针尖管理功能，提高操作效率减少人为误差。
- 通用性强：配备多功能光学系统，可满足不同测量需求。
- 操作简便：现代图形用户界面（GUI）设计友好，操作方便。
- 专业探针支持：布鲁克拥有探针纳米制造设施，可为 InSight 300 提供专用探针