半导体解决方案
Hysitron ATI 8800纳米机械计量学
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 美国
- 应用领域: 半导体、材料研究、生物材料等领域。在半导体制造中监测工艺；材料研究里分析材料微观力学性能；生物材料领域，对骨、牙齿等生物医学样品纳米力学特性开展研究
- 产品简介:
Hysitron ATI 8800纳米机械计量设备能够通过测量的机械性能和/或界面附着力值的可量化变化快速识别意外的工艺变化，从而有效地监控其产品的机械可靠性。纳米机械计量能够快速识别工艺变化，以提高产量、提高产品可靠性、验证新工艺、缩短上市时间并最大限度地降低运营成本。测量是完全自动化的，能够在大批量制造环境中连续监测薄膜模量、硬度和界面附着力。
- 高精度测量：采用双压电陶瓷驱动的压痕加载模式
- 多种测试模式：支持多种测量模式，如恒应变速率加载模式、动态加载模式等
- 高温测试能力：配备高温纳米压入模块
- 自动化程度高：搭载全自动三轴一体化位移台
- 光学系统优质：配有高质量真空显微镜系统
- 框架设计合理：采用开放式花岗岩龙门测试框架，稳定性好