半导体解决方案
7300LSI 硅基半导体的X射线量测方案
- 产品品牌: 布鲁克 Bruker
- 产品产地: 德国
- 应用领域: 先进逻辑芯片外延膜特性分析；DRAM 和 NAND 中高 k 材料的厚度、密度及结晶度测量；监测硅基半导体制造各环节，保障产品质量与性能 。
- 产品简介: 布鲁克 7300LSI 是针对硅基半导体的 X 射线量测方案。它能在晶圆厂内，实现研发与生产过程中半导体薄膜的监测。集多种模式于一体，如 X 射线反射、高分辨率 XRD 等，可对晶圆进行全面分析。具备自动化功能，从测量配置切换、校准，到操作、分析与报告皆能自动完成，能处理 300、200 及 150mm 晶圆。
布鲁克7300LSI 全自动X射线衍射仪是半导体晶圆厂内的研发工作（in-fab R&D ）和整片晶圆上的薄膜进行过程监控的理想选择。它特别适用于在先进逻辑电路、存储技术及GaN/Si芯片制造中进行材料表征。基于7300L的优秀性能，7300LSI集成了X射线反射率（XRR）、高分辨XRD（HRXRD）、掠入射XRD（GIXRD）和广角XRD（WAXRD）等多功能于一身，可用于无图晶圆的应变测量、薄膜表征以及物相分析。